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ニュースバル放射光施設は、極端紫外光から軟X線領域の放射光およびMeVガンマ線ビームを供給し、EUVリソグラフィー、ナノマイクロ微細加工、材料創製・評価、ガンマ線光核反応研究などにご利用いただけます。

 

11mアンジュレータ

すばる星団に由来して名付けられたニュースバル放射光施設は、軟X 線領域放射光を用いた教育・研究および産業応用を目的に大型放射光施設(SPring-8)サイト内に建設されました。ニュースバルは周長約120m の電子蓄積リングで、偏向電磁石と挿入光源(アンジュレータ)とにより極端紫外から軟X 線領域の放射光を利用できます。またレーザーと加速電子を衝突させることによってレーザーコンプトンガンマ線ビームも発生させています。現在、9 本のビームラインが稼働しており、以下4 分野での共用促進を行っています。
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ライン紹介・利用事例

材料分析

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BL05,06,07 では、高輝度の放射光を利用して材料分析を実施しています。BL05 は、当初から産業界への共用を目的として設置され、合同会社シンクロトロンアナリシスLLCがユーザー支援をします。

EUVL-極端紫外光リソグラフィー

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EUV リソグラフィー研究開発センターでのマスクやレジスト等の基盤技術開発中心に、マスクの欠陥検査技術の開発、10nm 級EUV レジスト評価を目的にしたEUV 光による2 光束干渉露光系の開発、並びにレジストからのアウトガスに起因するコンタミネーション評価技術の開発を進めています。

ナノマイクロ加工MEMSおよびナノバイオ応用研究

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BL02、BL11 では、LIGA プロセスを用いてナノマイクロシステムの研究開発を行い、数多くの産学連携大型プロジェクトの実績があります。現在の機械加工では到達できていないμm レベル以下の高精度3 次元微細加工が、A4 サイズにわたって可能な唯一の設備です。医療、バイオ、機械、エネルギー分野等の先端部材開発が精力的に進められています。

レーザーコンプトン散乱ガンマ線利用

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電子蓄積リングの高エネルギー電子ビームにレーザー光子を衝突させて起こるコンプトン散乱により、数MeV~数10MeV のエネルギー可変、準単色、直線・円偏光の切り替えの可能なガンマ線ビームを発生します。この様なコンプトンガンマ線ビームの利用を公開している施設は現在、世界中で2カ所しかなく、国内外の研究者が利用しています。遮蔽材料評価、検出器の校正、非破壊検査、陽電子発生、光核反応研究などに用いられています。