トップ > 利用事例 > ベストプラクティス集 > レーザープラズマEUV光源における変換効率の改善

レーザープラズマEUV光源における変換効率の改善

handai-gigaphoton

レーザープラズマEUV光源の評価と支援を通して、2 波長ダブルパルス照射法により、EUV光への変換効率 5.2% (世界記録)、140W@IF点(世界最高)を達成し、省エネルギーかつ低コスト化の次世代半導体製造用EUV光源開発に新たな道を拓くことができた。

(実験施設:大阪大学レーザー研、利用者:ギガフォトン(株))
(2013-2014年度成果公開有償利用課題)