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レーザー損傷評価を通して高耐力多層膜回折格子を開発

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光学薄膜の損傷耐力を安定して計測できるレーザー損傷評価装置の活用により、信頼性の高い成膜法の開発を行うことができ、イオンアシスト法による大型光学素子の製造に成功しました。
(実験施設:大阪大学レーザー研、利用者:岡本光学加工所)
(2007-2008年度トライアルユース、2009-2014年度成果公開有償利用課題)