レーザープラズマEUV光源における変換効率の改善

レーザープラズマEUV光源の評価と支援を通して、2 波長ダブルパルス照射法により、EUV光への変換効率 5.2% （世界記録）、140W@IF点（世界最高）を達成し、省エネルギーかつ低コスト化の次世代半導体製造用EUV光源開発に新たな道を拓くことができた。

（実験施設：大阪大学レーザー研、利用者：ギガフォトン（株））
（2013-2014年度成果公開有償利用課題）