SPring-8次世代先端デバイス研究会／先端利用技術ワークショップ 「シリコン半導体デバイスおよびその製造を支える材料の現状と放射光利用」

（SPring-8利用推進協議会）第12回SPring-8次世代先端デバイス研究会／
（JASRI）第103回SPring-8先端利用技術ワークショップ
「シリコン半導体デバイスおよびその製造を支える材料の現状と放射光利用」

デジタルトランスフォーメーション、スマートモビリティ等々、人間生活の
中で電気・電子が関係しないものは無い時代に突入しています。一方で「カー
ボンニュートラル」実現のためには更なる省エネ化も求められており、製品開
発側には新たな取り組みが求められています。新機能の付加や現行機能の飛躍
的向上のためには、計算科学と精密な材料解析を組み合わせた材料・プロセス
開発が必須であり、SPring-8の高輝度放射光は大いに活用できることが期待さ
れます。
今回は、国内製造の回帰が進むシリコン半導体に話題を絞り、実デバイスと
周辺材料の両面から現状と課題についてそれぞれ第一線の研究開発者の方から
紹介いただき、SPring-8の更なる利用推進を図ることを目的とします。

【日　　時】2024年11月20日（水）13時00分ー18時20分（予定）
【開催形式】AP品川　（〒108-0075　東京都港区港南1-6-31　品川東急ビル 8F）
研究会：RoomA， 技術交流会：RoomD
【主　　催】（公財）高輝度光科学研究センター（JASRI）
SPring-8利用推進協議会
【後　　援】(公財)科学技術交流財団 あいちシンクロトロン光センター(AichiSR)
(公財)佐賀県産業振興機構 九州シンクロトロン光研究センター（SAGA-LS）
SPring-8ユーザー協同体（SPRUC）（以上予定）

【プログラム概要】
13:00～13:10　　開会挨拶
研究会主査　上原　康（JASRI）
【座長　上原　康（JASRI）】
13:10～14:10 SDGｓに貢献するシリコン半導体デバイス
小椋 厚志（明治大学）
14:10～14:40　　半導体評価における放射光X線利用の事例と今後の期待
工藤 喜弘（ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)）

14:40～15:00　　休憩

【座長　小金澤　智之（JASRI）】
15:00～15:50 New SUBARU 放射光施設を利用したEUV露光用レジスト材料等の開発支援
山川 進二 (兵庫県立大学)
15:50～16:20 半導体封止樹脂の開発状況と放射光利用
首藤 靖幸（住友ベークライト(株)）
16:20～16:50 30 keV励起HAXPESの開発と実用化へ向けた課題
安野 聡（JASRI）
16:50～17:00　　閉会挨拶
山口　章(JASRI）

17:10～18:20 技術交流会　＊会費制（1,000円）
※立食形式での意見交換の場です。
技術交流会については、感染症の拡大状況等により中止の可能性がございます。

プログラム詳細は、下記をご参照ください。
https://www.jasri.jp/iuss/research_activity/2024/20241120.html