兵庫県立大学 NewSUBARU

施設の概要

すばる星団に由来して名付けられたニュースバル放射光施設は、軟X 線領域放射光を用いた教育・研究および産業応用を目的に大型放射光施設(SPring-8)サイト内に建設されました。当施設は周長約120m の電子蓄積リングにより、極端紫外光 (EUV)から軟X線領域の放射光を供給し、EUVリソグラフィー、ナノマイクロ微細加工、材料創製、材料分析などにご利用いただけます。

利用の形態

利用形態として、長期間契約の共同研究制度、受託研究制度、短期間契約の共用利用制度などがあります。共用利用制度に関しては成果公開と成果非公開の2つの選択肢があります。ご利用の目的・内容によってどちらを選択するかをご相談の上、お決め下さい。詳細はこちらをご覧下さい。
  

ビームラインの紹介

以下に、当施設で特徴的な設備をご紹介します。他のビームラインを含めて設備情報の詳細をお知りになりたい方は、施設のウェブサイトをご覧ください(サイドメニューの設備詳細でリンク)。
 

BL05、07、09
高輝度の放射光を利用して光電子分光、軟X線吸収分光、軟X線発光分光による材料分析を実施しています。軟X線では困難であった蓄電池のオペランド(動作中)分析など高度な分析にも対応しています。なおBL05 は、当初から産業界への共用を目的として設置され、合同会社ALSY-ONE(アルシオーネ、2021年8月活動開始予定)がユーザー支援を行います。

BL03、09、10
EUV リソグラフィー研究開発センターでのマスクやレジスト等の基盤技術開発中心に、マスクの欠陥検査技術の開発、10nm 級EUV レジスト評価を目的にしたEUV 光による2 光束干渉露光系の開発、並びにレジストからのアウトガスに起因するコンタミネーション評価技術の開発を進めています。

BL02、11
LIGA プロセスを用いてナノマイクロシステムの研究開発を行い、数多くの産学連携大型プロジェクトの実績があります。現在の機械加工では到達できていないミクロンレベル以下の高精度3 次元微細加工が、A4 サイズにわたって可能な唯一の設備です。医療、バイオ、機械、エネルギー分野等の先端部材開発が精力的に進められています。

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